微焦点X射线检测是集多种技术于一体的高科技产品

　　

　　微焦点X射线检测是集现代计算机软件技术、精密机械制造技术、光学技术、电子技术、传感器技术、无损检测技术和图像处理技术于一体的高科技产品。它是进行产品研究、失效分析、高可靠筛选、质量评价、工艺改进等工作的有效手段。

　　

　　微焦点X射线检测是焦点尺寸可以达到几个微米，并且能够在0～225kV或更高恒电压模式下，以一定的功率（通常zui高为320W）连续工作的X射线机。微焦点X射线机的焦点尺寸通常可以连续可调，从几微米直到0.2毫米或更高。

　　

　　与常规X射线管相同，微焦点X射线管的阳极也是用循环油或水来冷却。与常规X射线机不同的是，用于无损检测的微焦点X射线管是用真空泵来维持X射线管内的真空度（约为10-7）。微焦点X射线管可以很方便的打开（即开放式或称为开管），用来更换不同的靶材以产生不同的X射线频谱；更换不同形状及大小的X射线窗口；以及更换阳极的类型…如换上各种直径和长度的棒阳极，以满足不同检测任务的需要。这些阳极棒的长度可达1500毫米，直径可从18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒阳极，我们可以用单壁内透照方式，以的缺陷检测灵敏度进行射线检测。

　　

　　需要考虑的是X射线束视场直径或称锥束角。进行微焦点X射线检测，当焦距很近时，锥束角或视场范围非常重要。例如，25°锥角的微焦点X射线机的曝光次数要小于15°锥角的微焦点X射线机在检测相同范围时的曝光次数。

　　

　　另一个需要考虑的是焦点到X射线管窗口外表面的距离，它决定了被检样品到焦点的zui小距离。这一参数的重要性在于它决定了一个微焦点系统可能达到的zui大放大倍数。由于防护设施空间的局限以及射线的衰减与距离的平方成反比（I/R2），我们无法随意拉长胶片或探测器到射线源的距离以增大放大倍数。

　　

　　在进行微焦点X射线检测时有一个与常规X射线检测很大的不同：我们通常不需要考虑图像半影的大小，即通常不考虑几何不清晰度的影响。原因是当焦点尺寸足够小时，半影可以忽略不计。因此我们可以在X射线视场可接受的情况下，尽可能减小被检样品到焦点的距离。